半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電阻率。半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的技術(shù)指標(biāo):
電源:220V交流
可測(cè)晶片直徑(zui大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:電流量程為0.01~1mA連續(xù)可調(diào),誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表:量程:0.1~200mV,zui大分辨率:100μV
電阻率顯示:三位半數(shù)字顯示:小數(shù)點(diǎn)、極性、過載、自動(dòng)顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
測(cè)量精度:±0.1。
zui大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。
重?fù)綑z測(cè)誤差(JJG508-87進(jìn)行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測(cè)量環(huán)境:溫度23±2℃,相對(duì)濕度≤65%