雙電四探針測(cè)試儀如何測(cè)試導(dǎo)電橡膠及薄膜材料
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。
標(biāo)準(zhǔn)要求:
該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
1.1主機(jī)正面
設(shè)置鍵 系統(tǒng)鍵
USB接口 液晶顯示器 顯示鍵 數(shù)字鍵 觸發(fā)鍵
確定
退格
電源開(kāi)關(guān) 接地 測(cè)試接線端口
功能選擇鍵 方向鍵 確定鍵
是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類(lèi)測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,壓強(qiáng) 配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).
五、操作流程和測(cè)試步驟
1.使用前期準(zhǔn)備--測(cè)試前準(zhǔn)備工作:
1.1.開(kāi)機(jī)預(yù)熱:將220V電源插頭插入電源插座,打開(kāi)電源開(kāi)關(guān),讓儀器預(yù)熱15分鐘,保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測(cè)試儀無(wú)法正常啟動(dòng),請(qǐng)按以下步驟檢查:
①檢查電源線是否接觸良好;
②檢查后面板上的電源開(kāi)關(guān)是否已經(jīng)打開(kāi)
③檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷,如有必要,請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲
- 如經(jīng)上述檢查無(wú)誤后,測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng),請(qǐng)本公司進(jìn)行解決。
1.2.準(zhǔn)備好被測(cè)物,鏈接好測(cè)試探頭,把測(cè)試探頭接口與主機(jī)接口相連接,并鎖定,防止松動(dòng)或接觸不良而對(duì)測(cè)試結(jié)果造成影響.
1.3.接通電源,開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān),待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后,如圖3,按“顯示”鍵進(jìn)入,
1.4.進(jìn)入測(cè)試功能界面如圖4、圖5;如測(cè)試方阻時(shí),請(qǐng)選擇液晶顯示屏又側(cè)對(duì)應(yīng) 的功能按鍵“方阻”,則進(jìn)入方阻測(cè)試界面;如測(cè)試其他材料時(shí),請(qǐng)選擇“材料”則進(jìn)入材料電阻,電阻率,電導(dǎo)率測(cè)試儀界面。
1.5.設(shè)置好被測(cè)物所需之參數(shù),把被測(cè)物放于測(cè)試治具平臺(tái)上操作,測(cè)試完畢直接顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。如配置軟件,軟件操作說(shuō)明書(shū)同安裝軟件在一起,請(qǐng)注意查看操作步驟.
以下分別講解方阻和材料測(cè)試的設(shè)置
2.四探針雙電方阻測(cè)試步驟
2.1.上述步驟中1項(xiàng),使用前期準(zhǔn)備
2.2 把被測(cè)物測(cè)試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定:
2.2.1依據(jù)不同之測(cè)試樣品,選擇被測(cè)試電流,電流設(shè)置:按方向鍵移動(dòng)光標(biāo)至“電流”功能,按“設(shè)置”鍵進(jìn)入;再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù),選擇完畢后按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長(zhǎng)度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.
2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入,探針間距出廠時(shí)已經(jīng)標(biāo)定,無(wú)需再次測(cè)量,探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料,探針間距的設(shè)置:將光標(biāo)移動(dòng)至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進(jìn)入,通過(guò)面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn);按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“,注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中,自動(dòng)修正,無(wú)需再次輸入和查詢表格。
2.3.測(cè)試探頭和測(cè)試平臺(tái)操作
選配測(cè)試平臺(tái)的將被測(cè)物放在測(cè)試平臺(tái)上,調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸,探頭有二種,一種是探針是彈簧針型,一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧;探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu);調(diào)節(jié)測(cè)試平臺(tái)上的水平定位角,保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置;放置好被測(cè)物品,后壓下探頭至被測(cè)物,帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取.
方阻測(cè)試時(shí),在測(cè)試時(shí)電流的選擇也不同
根據(jù)國(guó)標(biāo)GB/T1552-1995和根據(jù)ASTM F374-84標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)量方塊電阻所需要的電流值如下表所示
方塊電阻測(cè)試時(shí)電流量程選擇表
方塊電阻(Ω/□) | 電流量程 |
0---1.2 | 100mA |
1---25 | 10 mA |
20---250 | 1 mA |
200---2500 | 100μA |
2000---25000 | 10μA |
20000---250000 | 1μA |
>200000 | 0.1μA |
方阻測(cè)試時(shí)根據(jù)用戶所選擇的電壓測(cè)量低壓6V,中壓15V,高壓32V;材料測(cè)試的時(shí)候一直是6V