四探針測試儀為解決四探針法測試超低阻材料方阻及電阻率,可以測試到1uΩ方阻值,采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;
四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。
該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
選購:本機還可以配合各類環(huán)境溫度試驗箱體使用,通過不同的測量治具滿足不同環(huán)境溫度下測量方阻和電阻率的需求。
四探針測試儀參數(shù)資料:
1.方塊電阻范圍:10-6~2×102Ω/□
2.電阻率范圍:10-7~2×103Ω-cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100?A.
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率.
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10.選購功能: 選購1.pc軟件; 2.方形探頭; 3.直線形探頭; 4.測試平臺
11.測試探頭: 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針