硅片四探針電導率測試儀操作方法

 電阻率所針對的對象是導電或電阻材料，一般是通過測定特定形狀的材料電阻

值后計算得出。對于功能器件一般只測量其電阻值。而環(huán)境（溫度、濕度、氣氛）

或材料狀態(tài)對電阻或電阻率的影響測量則一般是將材料或器件放于特定的環(huán)境之

中，通過改變環(huán)境參數(shù)測定電阻或電阻率的變化。上述所有操作歸結為一點，即電

阻的測量。由于目前還沒有不使用電而間接測量電阻的方法，因此電阻與其它

物理參數(shù)測量相比的zui突出特點是必須將被測材料或器件連接在電路之中，電路之

中的導線、導線接頭或器件觸點接觸電阻、測量儀表的內阻以及與被測電阻間的連

接關系，阻值比例等多種因素都會對影響測量結果的度。在許多情況下，測量

誤差是不可忽略的。

硅片四探針電導率測試儀操作方法

1.方塊電阻范圍：10^-3～2×10³Ω/□

2.電阻率范圍：10^-4～2×10⁴Ω-cm

3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.3%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.5%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 普通單電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺

11.測試探頭：   探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.