高溫雙電測(cè)四探針?lè)阶铚y(cè)試儀使用說(shuō)明

高溫電阻率測(cè)試系統(tǒng) 采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征

高溫雙電測(cè)四探針?lè)阶铚y(cè)試儀

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10. zui高溫度： 1200℃可調(diào)節(jié)；沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

11、升溫速度：9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃；功率：3kw.

12、爐膛材料：采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征。

13.測(cè)試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！

高溫雙電測(cè)四探針?lè)阶铚y(cè)試儀使用說(shuō)明

適用行業(yè)：

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

操作步驟及流程

5.1.本機(jī)可以依據(jù)不同測(cè)試產(chǎn)品選擇配置不同的測(cè)試治具，以下舉例操作說(shuō)明

5.1.1.在開(kāi)機(jī)界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進(jìn)入測(cè)量界面。如圖1

5.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個(gè)藍(lán)色功能按鍵，當(dāng)測(cè)材料電阻率時(shí)，請(qǐng)選擇 “材料”按鍵 ，進(jìn)入材料測(cè)試主界面.  

5.1.3.在該界面下通過(guò)按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動(dòng)藍(lán)色光標(biāo)選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動(dòng)到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置”鍵，光標(biāo)將變?yōu)樯钏{(lán)色。此時(shí)通過(guò)上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對(duì)相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定”鍵返回。

5.1.4.如圖3接線方式，把主機(jī)與夾具連接線，連接好并固定住，

5.1.5.取試樣，試樣試驗(yàn)前的處理依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個(gè)接口與探頭接線位置連接，后，放入被測(cè)樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。

5.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測(cè)樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù).

5.1.8. 按下“放大”鍵對(duì)應(yīng)的按鍵可以對(duì)當(dāng)前界面的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行放大

5.1.9. 待參數(shù)設(shè)置完畢，開(kāi)始測(cè)量，把測(cè)試獲得的數(shù)據(jù)寫(xiě)入試驗(yàn)報(bào)告中

5.1.10.以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機(jī)型使用，如您購(gòu)買(mǎi)的無(wú)電腦操作軟件的話，請(qǐng)勿設(shè)置.

5.1.11.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進(jìn)行選擇。

測(cè)試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導(dǎo)率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導(dǎo)率）3種顯示模式。

4.5.高溫四探針治具及樣品放置操作

4.5.1通過(guò)升降平臺(tái)降旋轉(zhuǎn)手柄將高溫四探針治具從高溫箱體升起至箱體外部，并通過(guò)旋轉(zhuǎn)手柄旁邊的鎖扣，固定住四探針高溫平臺(tái)；注意操作時(shí)，在鎖住平臺(tái)時(shí)，手不能松開(kāi)旋轉(zhuǎn)手柄，鎖扣一定要鎖牢固，以防平臺(tái)快速下滑而損傷.

4.5.2.將準(zhǔn)備好的試樣放置在測(cè)試平臺(tái)上，并分別旋轉(zhuǎn)四根探針固定旋鈕，至探針與樣品接觸即可，注意：探針與樣品接觸即可，不得接觸后在用力旋轉(zhuǎn)探針，可能會(huì)壓迫樣品或者損壞探針.

4.5.3.將固定好樣品的四探針平臺(tái)下降至高溫箱體中，松開(kāi)鎖扣時(shí)，手握住旋轉(zhuǎn)手柄，慢慢旋轉(zhuǎn)至四探針平臺(tái)*與高溫箱體吻合即可，并使用螺絲固定住平臺(tái)板的四腳，注意：螺絲只需要相對(duì)固定即可，不需要大力鎖死，平臺(tái)本身有足夠的重量，故輕微鎖住平臺(tái)板.

4.5.4.在設(shè)定好的電阻率測(cè)試儀及高溫溫度后，在軟件設(shè)定所需要設(shè)定參數(shù)數(shù)據(jù)，即可.

4.5.5.PC軟件的操作說(shuō)明與軟件配套在一起，在軟件安裝后可以在軟件包解壓后查看閱讀.